高纯水设备的日常维护必须遵循以下标准，即将以下5个关键部分维护好：
一、精密。它主要是将原水中的泥沙等大的颗粒物过滤掉，根据过滤精度他可以分为5微米、1微米两种。新的滤芯是白色，如果时间长了表面会淤积泥沙等，呈现褐色，这就意味着该滤芯不能像以前那样放心的使用了，用自来水冲洗掉表面淤泥后，只能使用7-14天的时间，但不能长期使用。滤芯放在滤瓶里面，这时要通瓶的透明度来采用不同的方法观察滤芯的颜色。从经验数据统计来看，精密滤芯的寿命一般在3-6月，这个要通过原水中泥沙量的多少来判断滤芯的寿命。
二、纯化柱。它采用的是离子交换原理。纯化柱的寿命是由电阻率决定的。低于某个特定的电阻就说明纯化柱已经过期了。其寿命主要是由抗客户的用水量以及各个厂家在生产设计时的的填充量和离子交换树脂的本身质量来决定的。
三、活性炭滤芯。它主要通过吸附原理将水中的有机物和异味去除。在自来水当中含有残余的氯离子对反渗透膜产生氧化作用，这时不得不利用去除那些氯离子了。对于活性炭滤芯需要一年一更换。
四、反渗透膜。它是超纯水机中十分重要的部件，其孔径非常小，所以在使用过程中常常有细菌等微观物质淤积在其表面，一般的纯水机都有反冲洗功能，旨在洗掉污染物。用水量在10升/天以内，可以冲洗3-5次，超过10升，则多冲洗几次。如果长时间不用，需要将其取出浸泡在消毒液里，避免细菌的滋生，不过该过程比较麻烦，建议即使不用水，都经常开机用少量的水，让机器内部的水形成流通，尽量减少死水的沉积时间过长，的寿命在2-3年。
五、用水。超纯水机一般都有三级水和一级水两个出水口，经反渗透出来的水是三级水，存放在里，而一级水是即用即取，不存放。三级水没有通过纯化柱，一级水通过了纯化柱，一级水的成本高于三级水。为节省成本起见，在日常应用的时候，应根据需求分质取水，能用三级水时尽量不用一级水。